大熹-SEKISUI-常壓電漿表面改質UNIT(可用於小型~大型各式基板(LCD.PDP.OLED)的表面洗淨及改質用途)

常壓電漿表面改質UNIT

特色

低成本（COO）< 1/2
無損傷
對應廣幅(G8)
均勻處理

用途

可用於小型~大型各式基板(LCD.PDP.OLED)的
表面洗淨及改質用途。
　

本社電漿與EUV的比較

裝置	Foot print	1(3 lamp)	1/3 (1 unit)	備註
裝置	Maintenance parts	1)EUV lamp 2)Quartz cover	◎	EUV：燈管壽命≒2000hr 電漿：電極壽命 >1Year

COO	1Year.c.o.o	1	<1/2

本社產品範例

玻璃世代	G8	G6	G4
UNIT SIZE	W450×L2680×H300mm	W240×L1640×H300mm	W240×L900×H300mm
電漿照射幅	2170mm	1500mm	760mm
電力規格	6.6kw	4.6kw	2.4kw
供應電源	3Φ 200/220V 125A	3Φ 200/220V 75A	3Φ 200/220V 125A
動力需求	電源、控制盤、處理氣體供應UNIT、電極溫控UNIT、處理氣體的排氣、電源冷卻水

動力需求範例(G6)

系統構成

洗淨能力