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常壓電漿表面處理裝置
APT系列規格一覽表

乾燥洗淨裝置 AP-T系列規格一覽表

型號 AP-T02-S AP-T03 AP-T04
用途 表面改質 提升bonding的
信賴性		 表面改質
對象基材 種類 FPC BGA TAB、FPC
SIZE max300×300mm ∼70×156mm ∼250mm幅
source 種類 平行平板
DIRECT		 平行平板
REMOTE		 圓筒-凹面型電極
DIRECT
處理面 片面 片面 片面
搬送系統 方式 葉片固定 卡匣對卡匣 滾輪對滾輪
速度 ∼2m/min
（電極移動速度）		 ∼7mm/sec
(17sec/校) 		∼5m/min
氣體 系統數 3 2 3
標準 氮氣、氧氣、其他 氮氣、其他 氮氣、氧氣、其他
流量 各max50公升
/min		 各max50公升
/min		 各max50公升
/min
動力需求 電源 3φ200V
50/60Hz 30A		 3φ200V
50/60Hz 30A		 3φ200V
50/60Hz 20A
排氣導管 φ100mm×1口 φ100mm×1口 φ100mm×1口
氣體 0.2MPa 0.2MPa 0.2MPa
標準尺寸 W2300×D1100×
H1850mm		 W1200×D1010×
H1600mm		 W3000×D1000×
H1720mm

　

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