大熹-SEKISUI-常壓電漿表面改質UNIT(可用於小型~大型各式基板(LCD.PDP.OLED)的表面洗淨及改質用途)

常壓電漿表面處理裝置
Atmospheric Plasma Surface Treatment System
「AP-T04」

特色

可除去TAB捲帶表面的有機污染物或進行表面改質
藉由圓筒狀的DIRECT型電極，可針對滾輪基材進行
連續處理
寬幅可對應35～156mm範圍內的各式size
　

裝置基本規格

電漿照射方式		滾輪式平板電極型
處理氣體種類		N2、02、Ar等3系統（請使用工業用氣體以上的純度）
處理size		寬幅：35、48、70、96、156mm 厚度:50、75μm reel直徑：400mm
基材搬送方式		圓筒電極－藉由Nip Roll進行同步搬送
動力需求	電源	3相　AC200V　50/60Hz　20A
動力需求	排氣導管	φ100mm×1口
裝置尺寸		W3000×D1000×H1720mm 〔含電極部〕
裝置重量		1000kg

電漿處理區域

本裝置可一邊剝除保護膜一邊進行搬送，且可讓TAB捲帶一邊
通過電極間的 plasma zone一邊進行處理。處理過後又可同時進
行張貼保護膜與基材捲取這兩個動作。

由於接地側電極(滾輪型)是採取同步轉動的方式，因此在進行
處理時不會對基材造成損傷。

也可進行張力控制(Tension Control)（0-300g）。

■處理效果(水的接觸角&處理氣體:Air)

　