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快速連結特色 / 產生原理

什麼是"電漿"?

當溫度上升時,物質會由固體轉變成液體,然後再由液
體轉變成氣體。氣體的溫度上升時會使氣體分子分解為
原子,若對氣體持續進行加熱時則會使原本環繞在原子
核周圍的電子離開原子,並且分解為正離子與電子。這
種現象稱之為「電離」。 而由電離產生的帶電粒子所組成的氣體則叫做「電漿」。

電漿通常被視為物質除固態、液態、氣態之外存在的第
四 種形態。就定義上而言,只要空間裡的離子與電子的
數量 相同,整體粒子呈現中性狀態時便可稱為電漿。

事實上,自然界的各種現象包括宇宙空間中的99.9%皆
為電漿狀態。

將電場加入氣體內,使之產生電離現象則是叫做「電漿
放電」。

 


由 本社獨創的電漿產生技術與反應氣體控制技術,打造出大面積的常壓電漿。

不需真空的常壓製程,可進行連續處理,In-Line化容易 。

不需特殊氣體即可產生電漿。

經由REMOTE型的source,於處理過程中不會對基板造成損傷,且可對應各式各樣的基板。
 

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